等離子系列產品-VP系列
VP-80L離線式真空等離子清洗機
去除灰塵和油污；精細清洗和去靜電；提高表面的附著能力；提高表面粘接的可靠性和持久性；AF/AS層褪鍍。
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| 功能配置 | 技術參數 | ||||
| 型號 | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L | |
| 外型尺寸(mm) | L=1200 W=920 H=1690 | ||||
| 真空腔內尺寸(mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 | |
| 真空腔材質 | 不銹鋼 | ||||
| 電極板尺寸(mm) | 319 (L) × 374 (W) | 320 (L) × 420 (W) | 380 (L) × 440 (W) | 520 (L) × 470 (W) | |
| 電極板材質 | 專用鋁電極 | ||||
| 重量 | 560KG | 580KG | 630KG | 680KG | |
| 控制 | PLC + 觸摸屏 | ||||
| 電極板結構 | 水平8層 | ||||
| 真空泵系統 | 兩級油旋片真空泵、羅茨真空泵組 | ||||
| 真空測定系統 | 皮拉尼電阻真空計 | ||||
| 氣體測量系統 | 高精密質量流量計 | ||||
| 等離子發生器 | 高精密0-500W 等離子發生器 | 高精密 0-1000W 等離子發生器 | |||
| 等離子匹配器 | 高精密0-500W 自動匹配器 | 高精密0-1000W 自動匹配器 | |||
| 工作真空度 | 10-100 Pa | ||||
| 真空泵極限壓力 | 0.5Pa | ||||
| 抽真空時間 | ≤55S | ≤70S | ≤80S | ≤100S | |
| 破真空時間 | ≤15S | ≤20S | ≤25S | ≤30S | |
| 氣體控制范圍 | 質量流量 0-300SCCM (可自選) | 質量流量0-500SCCM (可自選) | |||
| 射頻電源 | 0-500W (范圍內可調) | 0-1000W (范圍內可調) | |||
| 操作模式 | 人工取放，一鍵全自動操作 | ||||
| 電源 | 三相380V | ||||
| 總功率 | 4KW | 4.5KW | |||
