VP-10S 片式真空等離子清洗機#等離子清洗技術
設備系統PC控制，支持主流多種通訊協議；
設備依SEMI安全生產標準設計生產；
通道設計產能高，UPH 400~550pcs；
適用多種產品尺寸及彈夾；
MFC晶圓級專利設計，防止氣體泄漏引發安全事故；
腔體高密封專利設計最高可達5pa以內；
水滴角<30°(與清潔表面材質相關)。

VP-10L 在線式真空等離子清洗機
輸送機構采用電動調幅，寬窄可調節；在線式輸送系統，可與前后設備通訊接駁；
真空腔體采用鋁合金制作而成；
超低溫：溫度低至40度；
全方位表面清洗：異向等離子體可以進入超細狹縫清洗。

AP-3P 在線式常壓等離子清洗機
活化：大幅提高表面的潤濕性能，形成活性的表面；
清洗：去除灰塵和油污，精細清洗和去靜電；
提高表面的附著能力；
提高表面粘接的可靠性和持久性。