VP-10S全自動(dòng)真空等離子清洗機(jī)（有待料區(qū)）

產(chǎn)品特點(diǎn):

設(shè)備系統(tǒng)支持多個(gè)版本(PLC/PC)，支持主流多種通訊協(xié)議；

設(shè)備依SEMI安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)生產(chǎn)；

通道設(shè)計(jì)產(chǎn)能高，UPH400~550pcs；

適用多種產(chǎn)品尺寸及彈夾；

MFC晶圓級(jí)專利設(shè)計(jì)，防止氣體泄漏引發(fā)安全事故(可使用氫氣等高危氣體）；

腔體高密封專利設(shè)計(jì)最高可達(dá) 5pa以內(nèi)；

水滴角<10°(與清潔表面材質(zhì)相關(guān))；

四通道設(shè)計(jì)，同時(shí)處理4個(gè)產(chǎn)品，配置雙下電極，節(jié)省進(jìn)出板時(shí)間，效率大幅提升，保證處理產(chǎn)品均性。

技術(shù)規(guī)格:

功能配置		技術(shù)參數(shù)
設(shè)備尺寸	長(zhǎng)X寬X高(mm)	L1600 xW1150 XH1700
	凈重(kg)	1000
	設(shè)備周邊間隙(mm)	后面600,兩邊600
腔體	容積(L)	約9
	通道(條)	4
	下電極(塊)	2(待料功能)
	上料方式	彈夾
	適應(yīng)產(chǎn)品尺寸(mm)	寬度：40-100長(zhǎng)度：150-300
電極	電極尺寸(mm)	528×300
射頻電源	標(biāo)準(zhǔn)功率(kW)	1
射頻電源	頻率(MHz)	13.56
氣體控制	最多支持三路	標(biāo)配2路，可選配3路
控制系統(tǒng)	人機(jī)界面	PC+觸摸顯示屏
遠(yuǎn)程接口	通訊	選配
真空泵	可選干泵	17CFM
	可選油泵	195CFM
	可選帶吹掃功能干泵	YES
	氮?dú)獯祾吡髁?SLM)	2
	抽真空時(shí)間(S)	10-15
	破真空時(shí)間(S)	3-4
廠務(wù)設(shè)施	電源	三相380V50/60Hz 4.5kW(油泵)/三相380V50/60Hz 4kW(干泵)
	工藝氣體管路尺寸&類型	1/4inch Swagelok
	工藝氣體純度	工業(yè)級(jí)及以上
	工藝氣體壓力(psig)	10-20
	吹掃氣體管路尺寸&類型	1/4inch Swagelok
	吹掃氣體純度	工業(yè)級(jí)及以上
	吹掃氣體壓力(psig)	15
	氣動(dòng)閥門管路尺寸&類型	10mm push-in fitting
	氣動(dòng)氣體純度	壓縮空氣，無油，露點(diǎn)≤7℃,顆粒<5
	氣動(dòng)氣體壓力(psig)	70-90
	壓縮空氣排氣管路(mm)	中8
合規(guī)	認(rèn)證	SEMI
輔助設(shè)備	氮?dú)獍l(fā)生器(可選)	有氮?dú)獯祾吖δ苄枨髸r(shí)選配
	水冷機(jī)(可選)	配置冷卻功能電極時(shí)選配
	氫氣工具包(可選)	使用氫氣進(jìn)行處理時(shí)選配
	尾氣處理機(jī)(可選)	含氟氣體處理時(shí)的尾氣處理選配
運(yùn)輸	總重量(kg)	1050
	包裝件數(shù)	1
	包裝符合SPM15標(biāo)準(zhǔn)	YES